2022
- 分类:发展历史
- 作者:
- 来源:
- 发布时间:2022-09-26
- 访问量:0
【概要描述】Ø 2 inch 规模量产,Ø 4 inch 小批量供货,Ø 7 inch 样品研发。
位错密度:研发水平10³cm⁻²,量产水平10⁵cm⁻²。
2022
【概要描述】Ø 2 inch 规模量产,Ø 4 inch 小批量供货,Ø 7 inch 样品研发。
位错密度:研发水平10³cm⁻²,量产水平10⁵cm⁻²。
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作为课题承担单位获得国家重点研究计划“第三代半导体的衬底制备及同质外延”项目支持
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